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氣浮主動隔振平臺ZVI-FT系列
特點：
空氣彈簧支撐
6自由度主動隔振
主動隔振帶寬低至0.8Hz起
臺面振動低至VC-G
標品負載支持700-7500KG
水平向電機峰值推力高達20N
總體規格（長、寬、高）多種規格可選
核心控制系統全部自研
核心部件國產化
氣浮主動隔振平臺ZVI-FT系列技術指標
主動隔振帶寬：0.8-150Hz
臺面穩定性：≤±8um
傳遞率：≤-10dB@2Hz，≤-25dB@5Hz，≤-35dB@10Hz，≤-40dB@20Hz
水平向電機峰值推力高達1280N
系統支持最大功率1500W
臺面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石臺面：0級、1級、2級、3級可選（GB/T20428-2006）
臺面厚度：100/200/300mm
孔徑：可定制孔徑
孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
標品單腿最大承載能力：1800Kg
命名規則
選型表：（M、K、O參考具體臺面信息）
尺寸圖：
